예스티, HPSP 고압어닐링장비 특허분쟁 2심도 승소…“특허 리스크 해소”

특허법원, 예스티 잠금장치 구조가 HPSP 특허 권리범위에 속하지 않는다고 판단1심인 특허심판원도 예스티 승소 판정올해 8월 첫 양산 장비 납품 예정…차세대 HPO 장비 상용화도 추진 등록 2026-06-18 오후 2:40:58 수정 2026-06-18 오후 2:40:58 가 가 페이스북 트위터 메일 프린트 KAKAO URL [이데일리 김영환 기자] 예스티(122640)가 HPSP(403870)와 벌여온 고압어닐링장비 잠금장치 특허 분쟁에서 2심까지 승소하며 특허 리스크를 상당 부분 해소했다. 예스티는 특허법원이 자사의 고압어닐링장비 잠금장치 구조가 HPSP 특허(제1553027호)의 권리범위에 포함되지 않는다고 판단해 소극적 권리범위확인심판 2심에서 승소했다고 18일 밝혔다. 앞서 1심인 특허심판원도 같은 취지로 예스티의 손을 들어준 바 있다. 예스티, HPSP 고압어닐링 ‘303 특허’ 무효 심판 승소재판부는 HPSP 특허의 핵심 구성요소가 ‘회전체결링’ 구조인 반면 예스티 장비는 회전체결링 없이 외부 도어 자체가 회전하는 방식을 채택해 구조적으로 다르다고 판단했다. 예스티가 추가 개발한 구조 역시 회전체결링이 없는 ‘싱글도어’(Single Door) 방식으로 차별성이 인정됐다. HPSP는 특허 무효심판 및 소송 과정에서 특허 정정을 여러 차례 진행했고 이날 함께 선고된 무효심판 2심에서는 특허 유효성이 인정됐다. 다만 특허 범위가 특정 회전체결링 구조로 한정되면서 예스티 제품과의 차이도 더욱 명확해졌다. 예스티는 2023년 8월 HPSP의 특허침해 소송 제기 이후 잠금장치 특허 외에도 HPSP 보유 특허 5건에 대한 심판을 청구해 대응해왔다. 회사는 해당 특허들 역시 자사 제품과 무관하다는 판단을 받거나 특허 정정을 통해 차이점이 명확해지면서 분쟁 가능성이 사실상 차단됐다고 평가했다. 법적 불확실성이 해소되면서 사업화에도 속도를 낼 계획이다. 예스티는 올해 3월 글로벌 반도체 기업 팹에 75매 고압어닐링장비를 반입했으며 2025년 12월 수주한 125매 장비를 오는 8월 납품할 예정이다. 현재 글로벌 반도체 기업들과 D램·낸드·파운드리 공정 적용을 위한 웨이퍼 테스트를 진행 중으로 복수 고객사와 차세대 D램 공정 공동개발프로젝트(JDP)도 추진하고 있다. 차세대 고압산화공정장비(HPO)도 양산기 제작을 완료하고 글로벌 고객사 평가를 진행 중이다. 예스티는 이번 판결을 계기로 고압어닐링장비 시장 진출과 고객사 확대에 본격 나선다는 방침이다. 예스티 관계자는 “이번 특허법원의 판결로 그동안 예스티의 고압 장비 사업화를 가로막던 법적 불확실성이 마무리됐다”며 “독점 구조였던 고압 어닐링 장비 시장에서 올해 8월 첫 양산기 납품을 시작으로 글로벌 고객사 다변화와 매출 성장을 본격화하겠다”고 말했다. 고압수소어닐링 장비는 반도체의 실리콘 산화물(SiO) 표면 결함을 고압수소·중수소로 치환해 특성을 개선할 때 사용하는 제품이다. 많이 본 뉴스 뉴스 증권 연예 1 9호 태풍 '바비' 발생…한반도 덮칠 가능성은? 2 '술톤' 벗고 회춘한 황정민…몸이 보내는 건강 경고였다[건강한줄] 3 "오현규 골 알았나"...홍명보, '손흥민 벤치' 직접 밝혀 4 홍명보, 귀국 이틀만 돌연 미국행…"할 이야기 있다, 언젠가는…" 5 "걱정말아요" SK하이닉스, 목표가 또 상향 '420만원'-KB 6 "회장님한테 인사해야 월급 올라"...李대통령, '니가 좋아' 영상 공유 7 '홍명보호 참사' 지켜본 벤투의 쓴소리…"한두 사람 책임 아냐" 8 한밤중 이불 속에서 '스르륵'…아파트서 1m 넘는 뱀 출몰 9 테일러 스위프트, 뉴욕 한복판서 초호화 결혼식?… 비용만 최대 310억원 10 KIA, 9회말 3점 대역전극…SSG, 끝내기 실책으로 6연패 MICE 최신정보를 한눈에 TheBeLT 왼쪽 오른쪽 왼쪽 오른쪽 당신의 드림카는?ㅣ오토in 기아, 오션클린업에 전기차 지원…"해양 환경 보호 협력" 나이스 샤아앗~ㅣ골프in [포토]이윤서,미소 대화 하며 이동 왼쪽 오른쪽 이슈기획 ㅣ 2026 북중미 월드컵 '부활한 무적함대' 스페인, 오스트리아 완파...16년 만에 토너먼트 승리 이슈기획 ㅣ TheBeLT 자연을 닮은 그릇, 시간을 담다 [여행] 이슈기획 ㅣ 李 정부 부동산 대책 정무위 챙긴 與… ‘이재명표’ 부동산감독원 출범 급물살 타나 이슈기획 ㅣ 롤러코스피 148조원 팔아치운 외국인…하반기엔 ‘셀 코리아’ 멈출까 이슈기획 ㅣ 삼성 노사합의 후폭풍 삼성 초기업노조, 내년 교섭 앞서 정기회의 요구…"셋 중 하나 이직 고려" ."걱정말아요" SK하이닉스, 목표가 또 상향 '420만원'-KB ."스페이스X, 재앙적 수익률 위험" 경고에도…투자자들은 '매수' .韓과 첫 스테이블코인 협력 나선 EU은행권 컨소시엄에 듣는다 [only이데일리] .'연 19%'에 청년들 몰렸다…오늘 오후 6시30분 마감 .해외기업·자본 낀 M&A 쑥..'귀하신 몸' 된 외국변호사 .정부, 중복상장 가이드라인 초안 발표 임박…유형별 차등규율 적용[only 이데일리]