램리서치, CMTX 상대 특허법원 항소...특허분쟁 지속

특허법원, 지난달 사건 접수...앞서 심판원은 "CMTX 비침해" 판단 램리서치가 CMTX(씨엠티엑스)를 상대로 특허법원에 항소했다. 앞서 지난 4월 특허심판원은 램리서치의 '한정 링'(C-링) 특허를 CMTX가 침해하지 않았다고 판단(심결)했는데, 램리서치가 이에 불복하고 지난달 하순 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. C-링은 반도체 공정 식각장비 내부