“특허 침해 아니다”… 반도체소재기업 CMTX, 램리서치와 4건 심판 ...

식각 공정용 소모품 ‘한정 링’ 특허 분쟁“해당 기술, 램리서치 특허 권리범위 아니다”국내 반도체 공정용 부품 기업 씨엠티엑스(CMTX)가 미국 반도체 장비업체 램리서치를 상대로 제기한 특허심판 4건에서 모두 승소했다.씨엠티엑스는 지난달 30일 특허심판원이 자사가 청구한 램리서치의 특허 ‘무선 주파수(RF) 접지 복귀 장치들’에 대한 권리범위확인 심판에서 “씨엠티엑스 제품이 램리서치 특허의 권리범위에 속하지 아니한다”는 심결을 냈다고 6일 밝혔다.이 특허는 반도체 식각 공정을 위한 플라즈마 챔버 내에서 이상 방전 발생을 막기 위해 무선 주파수 전류가 한정 링과 접지 링 사이의 갭을 관통해 흐르게 하는 기술이다. 램리서치는 지난 2024년 이 기술을 포함한 인접 특허 2건을 침해했다며 씨엠티엑스를 상대로 특허권 침해 금지·손해배상청구 소송을 서울중앙지법에 제기했다. 씨엠티엑스는 이에 각각 권리범위확인·특허무효 심판 총 4건을 특허심판원에 청구했다. 씨엠티엑스 측은 “램리서치의 해당 제품에 대한 실용신안권이 2021년 6월 존속기간이 만료된 이후 국내 반도체 업계에서 국산화·성능 개선 연구개발이 한창 진행 중이었다”라고 설명했다.특허심판원은 지난해 7월부터 잇따라 내놓은 4건의 심판에서 씨엠티엑스 제품이 해당 특허 기술을 적용한 것이 아니라고 결론내렸다. 또 2건의 특허 자체도 일본의 공개 특허 등 선행 기술 결합에 의해 통상의 기술자가 쉽게 발명할 수 있으므로 진보성이 없어 무효라고 판단했다.램리서치는 특허심판원 심결 결과에 불복해 이미 3건의 ‘심결취소소송’을 특허법원에 잇따라 제기했다. 특허심판원은 지식재산청 산하 준사법적 행정심판 기관으로 특허 무효·권리범위 분쟁에서 1심을 맡는다. 2심은 특허법원, 3심은 대법원이 맡는다.