日 캐논토키, RGB 올레도스 증착기 개발

캐논토키, 12인치 웨이퍼 RGB 올레도스 실험용 증착기. 〈사진 논문 발췌〉일본 캐논토키가 차세대 마이크로 유기발광다이오드(OLED) 기술로 꼽히는 적·녹·청(RGB) 올레도스(OLEDoS)용 증착기의 개발 성과를 공유해 관심이 쏠린다.8일 업계에 따르면 캐논토키는 지난달 열린 미국 정보디스플레이학회(SID) 디스플레이위크에서 RGB 올레도스 증착기를 주제로 논문을 발표했다.올레도스는 실리콘 웨이퍼 위에 유기물을 증착해 픽셀 크기를 수십 마이크로미터(㎛) 수준으로 구현한 디스플레이다. 초소형·고해상도 디스플레이를 구현할 수 있어 차세대 기술로 꼽힌다.캐논토키는 12인치 웨이퍼 증착기를 선보였다. 전주도금 방식으로 만든 파인메탈마스크(FMM)를 활용해 3200PPI(인치당 픽셀수) 해상도 수준의 RGB 소자 패턴을 구현했다. 0.1마이크로미터(㎛) 수준의 정밀한 정렬(얼라인)을 통해 이를 구현했다고 설명했다.회사 측은 “5000PPI 수준 마스크 개발도 추진하고 있다”고 밝혔다.캐논토키가 그동안 주력이었던 유리기판 기반 6세대, 8.6세대 증착기에 이어 올레도스 증착기 분야로 진출하기 위해 차세대 기술인 RGB 올레도스 증착기술을 개발 중인 것으로 분석된다.올레도스는 화이트(W) OLED 방식과 RGB OLED 방식으로 나뉜다. 화이트 올레도스는 백색 소자에 컬러필터를 활용하는 반면, RGB 올레도스는 RGB 빛을 내는 소자를 직접 증착하는 방식이다.RGB 올레도스는 컬러필터를 사용하지 않아 빛 손실을 줄일 수 있지만, 기존보다 미세한 마스크와 이를 0.1㎛ 이하로 정밀하게 정렬해야 하는 고난도 공정기술이 필요해 아직 상용화하지 않은 차세대 기술이다.캐논토키는 6세대 증착기를 독점적으로 공급해온 업체다. 반면 실리콘 웨이퍼를 기판으로 활용하는 올레도스 증착기 부문은 국내 업체인 선익시스템이 시장을 선점, 장비 과반 이상을 공급하고 있다.한 디스플레이 업계 관계자는 “화이트 올레도스와 달리 양산 설비가 도입되지 않은 미개척 시장이라서 증착기 업체 간 경쟁이 치열하게 전개될 것”이라고 전망했다.마이크로 디스플레이 종류. 〈자료 삼성디스플레이 뉴스룸〉김영호 기자 lloydmind@etnews.com