아스타, 반도체 분석장비 양산성능평가 인증

‘가스분석기(GM-TOF)’로 반도체산업협회서 회사 “반도체 기업에 공급물량 확대 가능해져”질량분석장비 기업 아스타(대표 조응준)가 반도체 공정용 가스 검사장치로 ‘양산성능평가 인증’을 받았다.이 회사는 최근 한국반도체산업협회로부터 이 인증을 받았으며, 대상은 국내 최초로 개발한 실시간 ‘가스분석기(GM-TOF)’다. 이는 세계 최대 메모리 반도체 기업 중의 하나인 S사 생산라인에서 10개월 가량 테스트를 거친 제품이다.반도체산업협회는 국내 반도체 3사(삼성전자, 하이닉스, 동부하이텍) 주도의 ‘반도체 장비·재료 성능평가 팹’을 구축해 운영 중이다. 중소 반도체장비, 재료업체의 경쟁력 제고와 대-중소기업 간 상생협력 차원이다.이를 통해 장비·재료 검사라인의 성능 검증·평가 및 인증으로 핵심부품의 국산화를 유도한다. 교차 인증된 품목의 경우 기업간 교차구매를 실시해 관련 산업을 활성화하게 된다.지금까지 국내 재료·장비 업체들은 제품을 개발하고도 시장에서 성능을 인정받는데 어려움을 겪었다. 성능평가 팹 운용을 위해 필요한 양산라인 설치에 수 조원의 비용이 들기 때문.아스타는 5일 “이번 반도체 양산성능평가 인증으로 국내 뿐 아니라 일본, 대만 등 해외 매출도 탄력을 받을 것으로 기대된다. 향후 더욱 적극적인 영업을 전개할 수 있을 것”이라고 밝혔다.국내 반도체 제조사들은 반도체 공정 중 발생하는 기체를 포집해 가스를 분석하는데 외국산 분석기를 쓰고 있다. 상대적으로 고가이며 고장 및 수리에 2~3주가 소요돼 국산화 필요성이 제기돼왔다.회사 관계자는 “산업용 분석기기를 국내 대기업에 매년 공급하면서 기술력을 쌓아왔다. 이번 반도체 양산 성능인증으로 공급물량을 크게 늘리는 분기점이 될 것으로 시장에서는 평가하고 있다”고 했다.